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當前位置：上海納騰儀器有限公司>>產品展示>>納米團簇束流沉積系統
離子束沉積作為納米結構的基本組成單元，團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源：基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體...
作為納米結構的基本組成單元，團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源：基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇...
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